真空鍍膜產品出現膜臟該怎么辦？

鍍膜產品的常見問題，部分是鍍膜工序的本身造成的，部分是前工程**的問題，鍍膜終的品質是整個光學零件加工的（特別是拋光、清洗）的綜合反映，對于出現鍍膜不佳時必須綜合考慮，才能真正找到不佳產生的原因，對策改善才能取得成效。

膜臟（也稱白壓克）

顧名思義，膜層有臟。一般的膜臟發生在膜內或膜外。臟可以包括：灰塵點、白霧、油斑、指紋印、口水點等。（灰塵點和白霧單列）

01

灰點臟

現象：鏡片膜層表面或內部有一些點子（不是膜料點）有些可以擦除，有的不能擦除。并且會有點狀脫膜產生。

產生原因：

1、真空室臟，在開始抽真空時的空氣渦流將真空室底板、護板的臟灰帶到鏡片上，形成灰點層。（膜內，不能擦除，會有點狀脫膜）

2、鏡圈或碟片臟，有浮點灰塵，在離子束作用下附著到了鏡片上形成灰點層。（膜內，不能擦除，會有點狀脫膜）

3、鏡片上傘時就有灰塵點，上傘時沒有檢查挑選。（膜內，不能擦除，會有點狀脫膜）

4、鍍制完成后的環境污染是膜外灰點的主要成因，特別是當鏡片熱的時候，更容易吸附灰塵，而且難以擦除。（膜外）

5、真空室充氣口環境臟、開始充氣量過大、充氣過濾器臟，充氣時鏡片溫度過高也是造成鏡片膜外灰塵點不佳的原因。（膜外）

6、 作業員人為帶來的灰塵污染（膜內膜外）

7、 工作環境中灰塵過多

改善思路：杜絕灰塵源

改善對策：

1、工作環境改造潔凈車間，嚴格按潔凈車間規范實施。

2、盡可能做好環境衛生。盡量利用潔凈工作臺。

3、 真空室周期打掃，保持清潔。

02

膜外白霧

現象：鍍膜完成后，表面有一些淡淡的白霧，用丙酮或混合液擦拭，會有越擦越嚴重的現象。用氧化鈰粉擦拭，可以擦掉或減輕，（又稱：可擦拭壓克）

分析：膜外白霧的成因較為復雜，可能的成因有：

①、膜結構問題：外層膜的柱狀結構松散，外層膜太粗糙；

②、蒸發角過大，膜結構粗糙。

③、溫差：鏡片出罩時內外溫差過大

④、潮氣；鏡片出罩后擺放環境的潮氣

⑤、真空室內Polycold解凍時水汽過重

⑥、蒸鍍中充氧不完全，膜結構不均勻

⑦、膜與膜之間的應力

改善思路：膜外白霧成因很多，但各有些特征，盡量對癥下藥。主要思路，一是把膜做的致密光滑些不容易吸附，二是改善環境減少吸附的對象。

改善對策：

1、改善膜系，外層加二氧化硅，使膜表面光滑，不易吸附。改善鏡片出罩時的環境（干燥、清潔）

2、降低出罩時的鏡片溫度（延長在真空室的冷卻時間）減少溫差、降低應力。

3、改善充氧（加大），改善膜結構。

4、適當降低蒸發速率，改善柱狀結構

5、離子輔助鍍膜，改善膜結構

6、加上polycold解凍時的小充氣閥（其功能是及時帶走水汽）

7、從蒸發源和夾具上想辦法改善蒸發角。

8、改善基片表面粗糙度。

9、注意polycold解凍時的真空度。

03

膜內白霧

白霧形成在膜內，無法用擦拭方法祛除。

可能的成因：

①、基片臟，附著前工程的殘留物

②、鏡片表面腐蝕污染

③、膜料與膜料之間、膜料與基片之間的不匹配。

④、氧化物充氧不夠。

⑤、一層氧化鋯膜料，可能對某些基片產生白暈現象

⑥、基片進罩前（洗凈后）受潮氣污染

⑦、洗凈或擦拭不佳，洗凈痕跡、擦拭痕跡

⑧、真空室臟、水氣過重

⑨、環境濕度大

改善思路：基片本身的問題可能是主要的，鍍膜是盡量彌補，鍍膜本身的可能是膜料匹配問題。

改善對策：

1、改進膜系，層不用氧化鋯。

2、盡量減少真空室開門時間，罩與罩之間在短時間內做好真空室的清潔、鍍膜準備工作。

3、真空室在更換護板、清潔后，能空罩抽真空烘烤一下，更換的護板等真空室部件必須干燥、干凈。

4、改善環境

5、妥善保護進罩前在傘片上的鏡片，免受污染。

6、改善洗凈、擦拭效果。

7、改善膜匹配（考慮層用Al2O3）

8、改善膜充氧和蒸發速率（降低）

9、加快前工程的流程。前工程對已加工光面的保護加強。

10、拋光加工完成的光面，必須立即清潔干凈，不能有拋光粉或其他雜質附著干結。上海卷柔新技術光電有限公司是一家專業研發生產光學儀器及其零配件?的高科技企業，公司成立２００５年，專業的光電鍍膜公司，公司產品主要涉及光學儀器及其零配件的研發和加工；光學透鏡、反射鏡、棱鏡等光學鍍膜產品的開發和生產，為全球客戶提供上等的產品和服務。采用德國薄膜制備工藝，形成了一套具有嚴格工藝標準的閉環式流程技術制備體系，能夠制備各種超高性能光學薄膜，包括紅外薄膜、增透膜，ARcoating, 激光薄膜、特種薄膜、紫外薄膜、x射線薄膜，應用領域涉及激光切割、激光焊接、激光美容、醫用激光器、紅外制導、面部識別、VR/AR應用,博物館，低反射櫥窗玻璃，畫框等。