一種新型納米銀導(dǎo)電薄膜制備方法技術(shù)

本發(fā)明磚利技術(shù)是一種新型納米銀導(dǎo)電薄膜制備方法，其特征在于，包括如下步驟：(1)取適量納米銀混合于正型的光阻中；(2)攪拌；(3)將步驟(2)攪拌好的混合物均勻涂覆于基板表面，形成濕膜；(4)對步驟(3)形成的濕膜層進行黃光曝光；(5)對步驟(4)形成的薄膜結(jié)構(gòu)進行顯影操作，將該薄膜結(jié)構(gòu)圖案化；(6)對步驟(5)形成的圖案化的薄膜采用氬等離子體輻照；(7)在步驟(6)所得薄膜表面涂覆碳納米管涂層。

Preparation method of novel nano silver conductive film

The present invention relates to a preparation method of nano silver conductive film, characterized by comprising the following steps: (1) apply photoresist silver nano hybrid Yu Zheng type; (2) mixing; (3) the step (2) well stirred mixture evenly coated on the surface of the substrate, forming a wet film; (4) to step (3) formation of the wet film is yellow light exposure; (5) to step (4) thin film structure formed by the developing operation, the structure of thin film patterning; (6) to step (5) thin film forming patterned with argon plasma irradiation; (7) in step (6 the carbon nanotube coating film) coated on the surface of the.

【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
一種新型納米銀導(dǎo)電薄膜制備方法
本磚利技術(shù)涉及納米銀導(dǎo)電薄膜
，尤其涉及一種新型納米銀導(dǎo)電薄膜制備方法。
技術(shù)介紹
目前生產(chǎn)廠家多采用黃光工藝制備納米銀導(dǎo)電薄膜，但是傳統(tǒng)制備方法還需要經(jīng)過蝕刻、剝膜等程序，操作起來相當(dāng)復(fù)雜，且生產(chǎn)出來的納米銀導(dǎo)電薄膜導(dǎo)電性并不理想；另外，現(xiàn)有納米銀薄膜易氧化、易脫落。因此，需要在制備方法上做出改進。
技術(shù)實現(xiàn)思路
本磚利技術(shù)旨在解決現(xiàn)有技術(shù)的不足，而提供一種新型納米銀導(dǎo)電薄膜制備方法。本磚利技術(shù)為實現(xiàn)上述目的，采用以下技術(shù)方案：所述的一種新型納米銀導(dǎo)電薄膜制備方法，其特征在于，包括如下步驟：(1)取適量納米銀混合于正型的光阻中；(2)攪拌；(3)將步驟(2)攪拌好的混合物均勻涂覆于基板表面，形成濕膜；(4)對步驟(3)形成的濕膜層進行黃光曝光；(5)對步驟(4)形成的薄膜結(jié)構(gòu)進行顯影操作，將該薄膜結(jié)構(gòu)圖案化；(6)對步驟(5)形成的圖案化的薄膜采用氬等離子體輻照；(7)在步驟(6)所得薄膜表面涂覆碳納米管涂層。優(yōu)選地，步驟(6)所述的氬等離子體輻照薄膜的操作方式為：將步驟(5)所得薄膜置于磁控濺射真空鍍膜設(shè)備中，將鍍膜室內(nèi)抽至5.5×10-4Pa，接著向鍍膜室內(nèi)通入純氬氣，調(diào)節(jié)鍍膜室內(nèi)真空度至6.2Pa,以射頻功率3w及基體偏壓55V的條件，使設(shè)備內(nèi)形成氬等離子體，輻照納米銀薄膜7秒。優(yōu)選地，所述基板為PET基板或者鋼化玻璃基板。優(yōu)選地，步驟(5)所得納米銀薄膜厚度在17nm至27nm之間。本磚利技術(shù)的有益效果是：本磚利技術(shù)在制取納米銀導(dǎo)電薄膜過程中省略了蝕刻、剝膜，操作程序得以簡化，省時省力；*后加上氬等離子體對薄膜輻...

【技術(shù)保護點】
一種新型納米銀導(dǎo)電薄膜制備方法，其特征在于，包括如下步驟：(1)取適量納米銀混合于正型的光阻中；(2)攪拌；(3)將步驟(2)攪拌好的混合物均勻涂覆于基板表面，形成濕膜；(4)對步驟(3)形成的濕膜層進行黃光曝光；(5)對步驟(4)形成的薄膜結(jié)構(gòu)進行顯影操作，將該薄膜結(jié)構(gòu)圖案化；(6)對步驟(5)形成的圖案化的薄膜采用氬等離子體輻照；(7)在步驟(6)所得薄膜表面涂覆碳納米管涂層。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種新型納米銀導(dǎo)電薄膜制備方法，其特征在于，包括如下步驟：(1)取適量納米銀混合于正型的光阻中；(2)攪拌；(3)將步驟(2)攪拌好的混合物均勻涂覆于基板表面，形成濕膜；(4)對步驟(3)形成的濕膜層進行黃光曝光；(5)對步驟(4)形成的薄膜結(jié)構(gòu)進行顯影操作，將該薄膜結(jié)構(gòu)圖案化；(6)對步驟(5)形成的圖案化的薄膜采用氬等離子體輻照；(7)在步驟(6)所得薄膜表面涂覆碳納米管涂層。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型納米銀導(dǎo)電薄膜制備方法，其特征在于，步驟(6)所述的氬等離子...

【磚利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：潘中海，司榮美，劉彩風(fēng)，

上海卷柔新技術(shù)光電有限公司是一家專業(yè)研發(fā)生產(chǎn)光學(xué)儀器及其零配件?的高科技企業(yè)，公司成立２００５年，專業(yè)的光電鍍膜公司，公司產(chǎn)品主要涉及光學(xué)儀器及其零配件的研發(fā)和加工；光學(xué)透鏡、反射鏡、棱鏡等光學(xué)鍍膜產(chǎn)品的開發(fā)和生產(chǎn)，為全球客戶提供上等的產(chǎn)品和服務(wù)。

采用德國薄膜制備工藝，形成了一套具有嚴格工藝標準的閉環(huán)式流程技術(shù)制備體系，能夠制備各種超高性能光學(xué)薄膜，包括紅外薄膜、增透膜，ARcoating, 激光薄膜、特種薄膜、紫外薄膜、x射線薄膜，應(yīng)用領(lǐng)域涉及激光切割、激光焊接、激光美容、醫(yī)用激光器、紅外制導(dǎo)、面部識別、VR/AR應(yīng)用,博物館，低反射櫥窗玻璃，畫框等。